| 图案尺寸测量方法，和扫描传输带电粒子显微镜 |
| JP2006323759 2006-11-30 发明申请 |
| 2008-6-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一图案尺寸测量方法能够使用一个扫描测量的一横截面形状带电粒子显微镜，例如一个杆(扫描传输电子显微镜)，作为对多个交叉的部分，通过一个样品的制备时间，和一种系统。溶液 : 一聚焦的带电粒子射线的焦点位置沿Z-方向被顺序地改变，以下所希望的交叉部分的一个测量对象图形，一传输电子图像或所述测量对象图形的一个散射电子图像为获得在每个焦位置，所述传输电子图像或所述散射电子图像获取在每个焦位置所述的被处理以计算一边缘位置测量所述的电子图像内的目标图案在每个焦点位置; 和所述三-维所述测量对象图形的横截面形状是基于测量在所述计算出的边缘的一个组合所述的电子图像内的所述测量对象图形的位置在每个焦位置，和每个焦点位置，使用所述扫描带电粒子显微镜。版权 : (C)2008，inpit |
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