气体场电离离子源,和扫描带电粒子显微镜
 
JP2006322753  2006-11-30  发明申请

2008-6-19
 
  要解决的问题 : 以提供gfis采用一种离子中发射器,其特别光元件的He和电离氢(H2)是由被一个物镜,其高成品率制造中被启用,并在其中当所述尖端被破坏,其尖端修复过程是容易,和一个扫描带电粒子高分辨率和大的显微镜焦点深度安装此。溶液 : 在所述离子发射器,用于gfis,它是由以具有一种结构,其一针等的基板一第一金属和所述针尖端通过一第二被覆盖的金属,和所选择的第二金属具有一较高的蒸发电场强度比所述一种气体的最佳电场强度的电场电解离成像。版权 : (C)2008,inpit
 
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