| 通过原子力显微镜方法制造的用于铁电单元光刻和水热外延 |
| KR1020060128966 2006-12-15 发明申请 |
| 2008-6-19 |
| 目的 : 一种方法用于制造一种利用原子力显微镜光刻和水热外延铁电单元被提供以最小化所述损伤到一铁电单元通过形成钙钛矿型铁电单元从一种生长步骤，通过自组装。结构 : 一个本地的电场被施加到所述衬底的表面(101)，以形成一图案化的突起。所述突起被蚀刻以形成一核形成部(102)。一种形成铁电单元(103)是从所述核的形成部分。所述电场可以通过使用AFM(原子力显微镜)施加尖端。所述核的形成部分可以可以通过浸泡所述图案化基板形成为一种强的酸溶液$time。kipo2008 |
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