| 原子力显微镜工作用金刚石触头的观察和加工方法 |
| US11951768 2007-12-6 发明申请 |
| 2008-6-19 |
| 当需要表征用于工作的金刚石触头的尖端时，通过在蒸汽气氛下的高加速电压的高分辨率扫描电子显微镜观察所使用的用于工作的金刚石触头的尖端。 当工作用金刚石触控笔的尖端被磨损或者当需要改变触控笔尖端的形状时，通过增加蒸汽量和电子束的电流量，选择性地仅将电子束照射到所需区域来工作工作用金刚石触控笔的尖端。 当工作芯片强烈地粘附到金刚石触控笔上进行工作并且需要去除时，电子束选择性地仅照射到粘附到金刚石触控笔尖端上进行工作的工作芯片上，以便在氟化氙气氛下去除该工作芯片。 |
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