| 扫描探针显微镜与周期性地相移交流激励 |
| WOCH06000703 2006-12-15 发明申请 |
| 2008-6-19 |
| 所述扫描探针显微镜施加一个交流电压的总和(UAC)和一个直流电压(Udc)给其探针(1，2)。该频率的交流电压(UAC)基本上对应于所述探针的所述的机械振荡频率，但其相位相对于所述的机械振荡中周期性地变化。所述相位调制具有频率fmod。该显微镜测量所述频率(F)或所述一个主信号(S)的幅度(k)施加到所述探针的致动器(5)，或它测量该机械振荡的相位的所述悬臂(1)在相对于所述主信号(S)。所述频谱分量在频率fmod所述测量的信号被馈送到一个反馈环路控制器(9)，其努力以使它保持零通过调整所述直流电压(Udc)，从而保持所述直流电压在所述接触电压电位。 |
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