| 扫描探针显微镜，和激励方法用于悬臂阵列 |
| JP2007322893 2007-12-14 发明申请 |
| 2008-6-12 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜的简单结构能够精确地检测样品的表面; 一悬臂阵列和一个用于激励的激励方法。溶液 : 该扫描探针显微镜中，光杆上的入射光67被制成以得到入射的所有所述悬臂64的一大数量的backfaces的面通过一反射镜和反射防止膜65; 和所述微样品的不规则性被检测为一个亮度变化，通过一个成像装置70用于成像所述大数量的悬臂64的位移由于光杆，与反射光线68从所述backfaces所述的大数量的悬臂64。版权 : (C)2008，inpit |
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