| 用于扫描型探针显微镜探针 |
| JP2006312723 2006-11-20 发明申请 |
| 2008-6-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于一种扫描型探针显微镜探针配备有一电子放电源。溶液 : 所述用于所述扫描探针显微镜探针包括一悬臂状的基部101配备有一锥形针部分101a，该绝缘层102形成所述基部101和所述的电子放电层103形成在所述绝缘层102。该探针是一个探头部分110的构成包括所述叠层结构和一个悬臂式梁部111。该探头部分110是构成所述绝缘层102和电子放电的层103设置在所述针部101a和形成，从而变得精细朝向其尖端部分。进一步，所述所述针部110的上表面的所述的电子放电层103(所述的上表面该尖端部的所述探头部分110)在所述探头部分110形成平整的。版权 : (C)2008，inpit |
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