| 扫描探针显微镜 |
| JP2006315720 2006-11-22 发明申请 |
| 2008-6-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜具有一个功能,用于识别一个探针芯片。 溶液 : 所述扫描探针显微镜包括 : 一振动特性获取部分51用于获取所述的振动特性所述探针芯片10安装在一机构部30; 一控制项目获取部54,用于获取所述控制项所述探针的芯片10; 一种用于连续地有关的数据控制部55所述的振动特性与所述探针芯片10的控制项目通过该振动特性获取部分获取的51和所述控制项目获取部分54以存储所述相同; 一个用于比较所获取的振动特性识别部56通过该振动特性获取部51与那些所述探针的芯片10所述存储器中存储在所述数据控制部55和55a安装迄今为止,直到现在,以识别所述当前安装的探针芯片10; 和一个显示部分70用于显示所述的控制项所述当前上安装的探针芯片10所述所述所识别的识别结果的基础部分56。 版权 : (C)2008,inpit |