| 聚焦状态检测部件，扫描电子显微镜，聚焦条件调整方法，焦点调整方法，和焦点深度测量方法。 |
| JP2006310510 2006-11-16 发明申请 |
| 2008-6-5 |
| 要解决的问题 : 以降低机会和时间与电子束照射样品在设定的一个所述电子束的聚焦条件在一个电子束装置。 溶液 : 电子束照射表面13a是用于检测一电子束的聚焦状态B一种扫描电子显微镜的1。所述电子束照射表面13a在所述高度方向中的一个位置是不同的是一种光学轴所述电子束B的方向依赖其在平面方向上，和产生至少任一个的反射电子与二次电子由与所述电子束照射B。 版权 : (C)2008，inpit |
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