要解决的问题 : 提供一种电子显微镜能够提高所述观测数据的可靠性和分析的数据。和避免由于污染分析误差。

溶液 : 一种带电粒子束的装置具有一个照射系统，具有一物镜透镜用于聚焦的带电粒子光束，并与所述聚焦的光束照射一样品; 一用于偏转扫描所述带电粒子偏转扫描系统的光束; 和一个扫描图像形成系统，用于检测从所述样品产生的信号通过所述带电的所述照射粒子光束和然后形成一扫描图像。一个第一的图像，所述开始之前获得的所述分析的样品是与一第二相比图像，所述开始后获得的所述分析的样品。基于此，当所述的图像中的所述样品被观察到的变化，污染膜形成处理被其执行所述表面上形成一污染膜的所述样品。