产业集群信息网

产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于原子力显微镜和其它应用振荡器和制造方法

US12008127 2008-1-9 发明申请

2008-6-5

一种制造包括振荡器的器件的方法，所述振荡器包括在硅或其它第一材料上沉积氮化硅或其它第二材料层，在所述第一材料中形成支撑结构和振荡器，所述方法包括施加蚀刻剂，所述蚀刻剂对所述第一材料是选择性的，以蚀刻贯穿所述第一材料的所有路径，并使所述第二材料基本上未蚀刻，从而形成所述第二材料的所述至少一个柔性铰链。