| 扫描电子显微镜 |
| US11984319 2007-11-15 发明申请 |
| 2008-6-5 |
| 一种技术，即使当独立地包括能够仅由特定检测器成像的多个图案或异物时，也稳定地执行自动聚焦调节。 可以拾取诸如具有弱对比度的凹凸图像之类的图像。 即使在图像中难以找到聚焦位置，该技术也能够自动聚焦这样的图像。 一种扫描电子显微镜，包括 : 多个检测器，用于检测当用电子束照射样品时来自样品的二次信号；以及计算单元，用于组合从检测器获得的信号。 至少两个检测器相对于电子束是对称的。 基于检测器的信号或对应于信号组合的信号来调节电子束的聚焦。 |
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