| 悬臂支架和包括所述相同的扫描探针显微镜 |
| EP07022406 2007-11-19 发明申请 |
| 2008-6-4 |
| 一悬臂支架包括一玻璃基板(130)，其中一个悬臂上芯片(110)是被放置，保持级(140)，以保持所述玻璃基板(130)，一振动器(138)所述玻璃基板固定到所述的下表面(130)，和一个向位置保持机构和保持所述悬臂芯片(110)在一个位置相对的所述振动器(138)。通过所述玻璃基板(130)。所述保持机构包括一压部件(120)以按压所述悬臂芯片(110)靠在该玻璃基板(130)。所述按压构件(120)包括一个缺口(122)，其紧密配合与所述支撑(113)。 |
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