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通过扫描探针显微镜表征结构尺寸

US10953629 2004-9-29 发明授权

2008-6-3

一种方法，包括使用扫描探针显微镜(SPM)或轮廓术中的一种来表征尺寸小于约100纳米(nm)的半导体器件上的结构的尺寸。