| 用于检查样品原子力显微镜，具有评估单元接收的测量变量i。E。探针尖端和样品之间的摩擦，此外力的倒数作为输入用于确定人工制品的效果 |
| DE102006055528 2006-11-24 发明申请 |
| 2008-5-29 |
| 本发明涉及一种光栅与装置作为一个校验的力显微镜所述伪影，与其中所述测量是afflicted。该显微镜覆盖装置，用于所述附加所述点之间的摩擦和样品的测定。通过根据本发明计划的一个评价单元，其接收至少一个还测得的可变比输入，所述该力的变化点和样品之间的倒数的效果，注册通过所述的显微镜，可以被分离成一种可利用部分，它是通过改变引起该应用相关的初级测量的变量，并进入一stranteil，引起其是由所述的变化点和样品之间的摩擦。该显微镜特别是favourably显示出该倾斜还用于所述的附加确定装置点和样品之间。因此还人工制品，其被所述测量期间通过该倾斜的变化引起的，可被识别。 |
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