| 扫描探针显微镜 |
| JP2006309243 2006-11-15 发明申请 |
| 2008-5-29 |
| 要解决的问题 : 以防止劣化在一种不均匀引起的样品表面的图像的分辨率从温度在一个房间变化。溶液 : 一样品扫描器5与一个管扫描器6安装一样品架7。该样品扫描器5被安装在一个样品驱动机构3通过一个样品台4。该级驱动机构3是由一底座单元1支持。一悬臂12安装到一个SPM头10样品8连接到所述样品架上右7是设置; 一悬臂探针14连接到所述的远端12相对的是以所述探头14; 该探针14之间的物理量作用和所述样品8是通过相对扫描所述探头14检测到和所述样品8; 然后，基于所获得的样品是一种不均匀的图像在所述物理量。所述基座单元1是支持通过一个室21由一种热绝缘的材料，以环绕一底部和侧面。版权 : (C)2008，inpit |
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