| 扫描探针显微镜 |
| JP2006309244 2006-11-15 发明申请 |
| 2008-5-29 |
| 要解决的问题 : 以获得一精确的不均匀性影响样品的表面图像通过解决的问题通过改变在一个悬臂振荡的幅度。溶液 : 一扫描探针显微镜包括一个其一端是固定的悬臂6; 一探针6固定到所述悬臂的所述其它端5和相对的设置到一样品1; 一个用于激励振动的压电元件7所述的悬臂5; 一个幅度调整电路12，其控制所述压电元件7，使得所述悬臂在一自然振动时其频率或在所述邻域频率和与其产生一个激励电压以保持所述的振动幅度该悬臂5的恒定; FM调制器14用于转换一相对应的电压以改变在该悬臂5所述的振动频率; 一个误差放大器15用于输出所述的输出之间的差所述FM调制器14和一个参考电压; 一个用于控制所述之间的距离z向扫描器驱动电路17所述探头6和样品1的恒定基于所述误差放大器15的输出; 一种TMS-dc19用于转换该悬臂5的所述振幅变化; 和一个加法器20用于增加所输出的所述的均方根-dc19到所述误差放大器15的输出; 其中所述的不均匀的图像所获得的样品1是基于在所述加法器20的输出。版权 : (C)2008，inpit |
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