产业专利数据
 
半导体\/陶瓷组合用于扫描探针显微镜的悬臂
 
JP2006309313  2006-11-15  发明申请
2008-5-29
 
  要解决的问题 : 以廉价地制造一种利用用于一种扫描探针显微镜的悬臂在高成品率和可靠性。溶液 : 一用于构成所述悬臂探针是通过一半导体或半导体相关制造的材料通过一体成形。一个大座(主要用于一装置附件)是由一种陶瓷制造的，一个玻璃或晶体。所述悬臂是通过粘接或粘接和结合形成所述探针和所述大座。版权 : (C)2008，inpit
 
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