| 显微镜物镜 |
| JP2006305370 2006-11-10 发明申请 |
| 2008-5-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一个显微镜物镜，其具有一程度的数值孔径的0.65和具有良好地校正像差包括一较高的球面像差。溶液 : 显微镜物镜的透镜是由一个正的第一透镜组G1，一个正第二透镜组G2和一负第三在该顺序从所述物体侧透镜组G3。g1具有一凹面正弯月透镜L1，它引导到所述物体侧。G2有一接合元件的一个正透镜L3和一个负透镜L4，和一个衍射光学面D是所述透镜的至少一个面上形成构成G2。通过设置G3被配置一个负透镜L12，一个正透镜l13和一个负透镜l14在这个顺序以所述的图像侧。当该G2的所述正透镜的阿贝数νdp; 所述负透镜的阿贝数是νdn; 所述正透镜的折射率与相对于D-射线是NDP; 所述负透镜的折射率与相对于D-射线是ndn; 一曲率的半径所述正透镜和负透镜之间接合的面是rii; 整个系统的焦点距离是F和第一的焦点距离透镜组G1为f1; 所述的显微镜物镜满足以下关系DNDP-ν>ν30，90>rii\/(ndn-NDP)>70和4.0 |
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