| 共焦激光显微镜 |
| JP2006305539 2006-11-10 发明申请 |
| 2008-5-29 |
| 要解决的问题 : 以容易地设置一个范围,其中所述样品的高度信息中获得的是,在通过手动一短时间。溶液 : 一物镜透镜7被设置成面对该样品8。反射的反射的光其是由该样品8和穿过所述物镜透镜7,当所述样品8是用激光照射的光,穿过聚光透镜9和一个针孔10,然后,检测通过一检测器11。一控制器12形成样品8所述共焦的图像从所述反射的光。一Z-阶段14所述物镜透镜7在其光轴方向移动,以所述的焦点位置变化所述物镜透镜7与相对于该样品8。该控制器12是由一个操作指示与相对于一个鼠标16。当该焦点位置的变化范围的设定由该Z-阶段14得到的是,所述的相对位置所述焦点的变化范围之间的关系所述物镜透镜7相关,以所设定的位置和所述当前的焦点位置被显示在监视器15。版权 : (C)2008,inpit |