| 用于显微镜和具有相同的显微镜聚焦检测装置 |
| JP2006308130 2006-11-14 发明申请 |
| 2008-5-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一个聚焦检测装置用于一种显微镜，其中一个自动聚焦可控范围被宽和聚焦精度高，和以提供一种具有这种装置的显微镜。溶液 : 所述聚焦检测装置200用于该显微镜包括 : 一个第一的投影光学系统20用于将图案投影通过一单个样品上的狭缝1形成通过物镜3为了检测聚焦; 一个第二的投影光学系统30用于通过多个狭缝的形成一图案投影在所述样品通过所述物镜中，以便检测一个聚焦透镜; 一个成像光学系统41由其通过所述单狭缝形成的图案和所述图案形成通过所述多个狭缝的，其被投影在所述样品的两者，被所述的共轭面上成像的所述样品通过所述物镜; 和一个成像装置40设置，使得所述共轭面和一成像面一致。基于一个信号从所述成像装置，通过选择第一所述检测装置200检测该聚焦或第二的投影光学系统。版权 : (C)2008，inpit |
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