自动聚焦检测器,其控制方法,和显微镜系统
 
JP2006309272  2006-11-15  发明申请

2008-5-29
 
  要解决的问题 : 以提供一个自动聚焦检测器能够进行实时时间的后续AF到一个观看点仅由决定一聚焦位置,以通过一个用户被观察到。溶液 : 所述的自动聚焦检测器包括 : 一驱动装置,用于控制该级的相对位置到所述物镜一种显微镜的; 一个光投影装置,用于投影光到一样品通过所述物镜; 一用于检测一个反射光学图像检测装置,其是通过使获得的投射光从所述光所述样品上反射的投影装置通过所述物镜,通过所述物镜; 一投影状态改变装置设置在一光学路径从所述的光投影装置到所述检测装置和所述的光学图像投射到所述的改变所述状态检测装置; 一个聚焦状态判定装置,用于所述样品从一个决定所述的聚焦状态检测的结果由所述检测装置; 和一个聚焦状态调整装置用于调整所述所投影的位置状态变化的装置,以使得所述聚焦状态判定装置可决定这种状态使该级中聚焦被获得和所述物镜所述的控制下被保持在预定位置通过所述驱动装置。版权 : (C)2008,inpit
 
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