| 校准用标准参考部件、其制造方法和使用该标准参考部件扫描电子显微镜 |
| US11939596 2007-11-14 发明申请 |
| 2008-5-29 |
| 本发明提供了一种用于执行高精度扫描电子显微镜中的放大校准的校准的标准参考部件，并提供了使用该标准参考部件的扫描电子显微镜技术。 本发明提供了一种用于校准扫描电子显微镜的标准参考部件，所述扫描电子显微镜根据关于二次电子或反射电子的强度的信息来测量观察区域中的图案的长度，所述二次电子或反射电子是通过在测量样品上扫描所述观察区域中的入射电子束而产生的， 具有 : 第一基板，其上层叠有多层；以及第二基板，其具有用于保持所述第一基板的凹部，其中所述第一基板被保持在所述第二基板的凹部中，使得所述多层表面的法线方向可以大致垂直于所述第二基板表面的法线方向，并且所述多层具有含硅膜和含钼膜的多层结构。 |
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