| 带电粒子束装置、扫描电子显微镜及使用该带电粒子束装置样品观察方法 |
| US11882701 2007-8-3 发明申请 |
| 2008-5-29 |
| 一种带电粒子束装置，通过在不增加一次电子束的像差的情况下有效地检测二次信号，从观察图像中检测缺陷，从而提高检测速度和提高检测灵敏度，从而获得高清晰度和高对比度的观察图像。 用一次带电粒子束扫描样品的所需区域，通过一次带电粒子束的照射从该区域二次产生的二次带电粒子与二次电子转换电极碰撞，然后通过样品侧二次电子转换电极表面上的绝缘体设置的第一E×B偏转器31产生的二次电子被探测器吸收。 同时，在第一E×B偏转器上设置第二E×B偏转器，减小第一E×B偏转器在一次带电粒子束中产生的偏转色差，获得高清晰度、高对比度的无阴影观测图像。 |
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