| 用于校准测试物体的光栅电子和扫描探针显微镜 |
| RU2006113068 2006-4-19 发明授权 |
| 2008-5-27 |
| 字段 : 物理学。物质 : 本发明属于该领域的测量小段，其中所述的所述轮廓的几何参数表征所述所述一个固体体的表面的形貌特征。所述纳米-表中所述测量被完成的范围(1-1000nm)使用光栅电子和扫描探针显微镜。该测试对象是在所述形成一结构与形貌的表面，所述的特征，其具有一种简档，与它们的所述基平面上侧的突起，其中所述光栅是大于所述的探针电子和扫描探针显微镜。用于所有特征的存在是一种急性所述侧边缘和下基座平面之间的角度，在其情况下，所述的投影是一设置在所形成的步骤，至少两个其加入的在一个角度不相等，并且不是多的180a°。效果 : 增加精度的测量所提出的结构和功能特性的展宽。3Cl，2显示 |
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