| 集电镜更换装置，用于远紫外线光源装置，和方法用于更换 |
| JP2006301461 2006-11-7 发明申请 |
| 2008-5-22 |
| 要解决的问题 : 以提供一种方法和一种装置用于安全地和容易地替换一种集电镜，其用于当远紫外线光被收集在一个远紫外线光源。溶液 : 所述集电极镜更换装置160是用于当所述集电极镜反射，并收集远紫外线光被代替。所述集电极镜更换装置160包括一个集电镜支撑架161支持一集电极镜单元130，和反射镜代替导轨162，其被所述集电体上设置反射镜支承座161以调节所述方向所述集电体的移动的反射镜单元130。所述集电极镜单元130通过移动所述集电体是从一个室除去镜单元130沿所述反射镜代替所述集电极镜支撑架161上的导轨162。版权 : (C)2008，inpit |
微信公众号