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具有时间常数测量能力扫描电子显微镜

US11936377 2007-11-7 发明申请

2008-5-22

在扫描电子显微镜中，为了获得稳定的图像，确定了减少一次电子束和二次电子偏转量的最佳扫描方法。能量滤波器用于区分能级。所获得的电子的屈服值的变化被用来测量样品电位的变化。提取了电子束辐照过程中产生的电荷时间常数。基于提取的时间常数对扫描方法进行了优化，以减小扫描电镜图像中出现的畸变和放大倍数变化。