| 栅压控制装置和扫描电镜 |
| CN202211222600.3 2022-10-8 发明申请 |
| 2022-12-6 |
| 本发明公开了一种栅压控制装置和扫描电镜。栅压控制装置包括可调电阻电路、高压电源和控制电路，可调电阻电路用于与扫描电镜的电子枪的栅极连接，可调电阻电路包括多个电阻，高压电源用于给可调电阻电路供电，控制电路与可调电阻电路连接，控制电路用于控制多个电阻的连接关系以调节可调电阻电路的电阻，从而调节栅极的电压。如此，通过控制电路控制可调电阻电路中多个电阻的连接关系以调节可调电阻电路的阻值，以达到控制调节栅压的目的，可调电阻的设置使得栅压的调节较为方便，能够更好地控制电子束流的大小，有利于提升扫描电镜成像时图像的质量。 |
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