设备和方法用于扫描电容显微镜和光谱学
 
WOUS07024091  2007-11-15  发明申请

2008-5-22
 
  一种装置和技术用于测量所述电电容的一个导电的尖端之间的一个扫描探针显微镜和一样品表面被描述。一个高频率的数字矢量网络分析仪是连接到所述悬臂的所述探针尖端的一个原子力显微镜,和数据收集是通过一个数字计算机协调所述AFM之间使用数字触发信号控制器和该矢量网络分析仪。用于成像的尖端-样品的电容和光谱测量方法在一个单点在所述样品被描述。一个用于系统校准方法被描述。
 
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