| 三-维相位测量方法，和用于相同的使用微分干涉显微镜 |
| JP2006294963 2006-10-30 发明申请 |
| 2008-5-15 |
| 要解决的问题 : 以广泛延伸一用于再现一相位图像的方法从一个微分干涉图像，其仅一个所述度的范围内可以利用一种常规方法中的聚焦深度。溶液 : 本发明使用一具有一相位差改变装置提供差分干涉显微镜，一种成像装置，一个计算装置和一个聚焦驱动器，指示所述聚焦驱动器以一定的范围内的扫描聚焦位置在一常规间隔，捕获两个图像具有反向的延迟在所述聚焦位置，形成一个差值图像通过实现一种操作用于两个图像之间的差计算，所述聚焦位置中形成一相位分布图像由deconvoluting所述差值图像与一光学响应功能，形成一个绝对值图像实现一种操作用于计算一绝对的值从该差值图像，形成一掩模图像包括用于提供所述最大值的比较像素的像素在该绝对所有中值图像聚焦位置，和提取相分布在所述聚焦位置信息通过使用该掩模图像从所述相位分布的图像。版权 : (C)2008，inpit |
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