| 扫描电子显微镜 |
| JP2006293478 2006-10-30 发明申请 |
| 2008-5-15 |
| 要解决的问题 : 以促进样品对准当样品被所述样本是一种中分散有规律性一平坦的平面中的最小区域，它具有几乎没有特征，是难以发现通过直接观察的一个与一光学显微镜观察面。溶液 : 一光学显微镜单元24，其检测在一个倾斜的方向反射的光而发射光到所述观测面一种扫描电子显微镜的，是内部或外部提供一种扫描电子显微镜的样品室。当进行对准，一种光学正图像，它是一种图像观察的该端面不同的从所述所述电子从斜方向的显微镜的观察面，是在一个观察拍摄的目标部分之间任意选择的从多个所观察的目标部分。所拍摄的图像是通过使用模板匹配分析方法，以作为到估计坐标信息的一个观测实际图像上的位置。版权 : (C)2008，inpit |
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