产业专利数据
 
扫描型带电粒子显微镜，和其象散校正方法。
 
JP2008024282  2008-2-4  发明申请
2008-5-15
 
  要解决的问题 : 以提供一种方法用于简化了一种扫描型带电粒子显微镜像散的校正工作。溶液 : 带电的物品所述分频装置11之间的光束2被提供一充电枪1的制品和一种物镜透镜6，和一个像散校正装置15是一种显微镜的图像调整，使得所述轨迹移动同时描述一种理想圆时，所述带电粒子光束2被偏转到圆一个锥形表面沿所述产生一锥具有所述分频为其顶点的线。版权 : (C)2008，inpit
 
Copyright © 广东省科技图书馆（广东省科学院信息研究所）  
粤ICP备05059360号-1 详细地址：广州市先烈中路100号        
联系电话：020-37656525 咨询邮箱：stlib@stlib.cn
  •  

  • 微信公众号

仿站