| 扫描电子显微镜中微纳米尺寸的测定方法 |
| US11599556 2006-11-15 发明申请 |
| 2008-5-15 |
| 一种在扫描电子显微镜中确定微和纳米物体的尺寸的方法， 包括以下步骤 : 获得扫描电子显微镜中物体的实验视频信号， 根据所获得的实验视频信号确定对象的大小， 基于从实验视频信号获得的对象的尺寸和扫描电子显微镜中对象的其它值计算模型视频信号，从模型视频信号确定对象的尺寸，基于从实验视频信号获得的对象的尺寸和从模型视频信号获得的对象的尺寸之间的差确定校正，并且使用校正根据从实验视频信号确定的对象的尺寸和由此确定的校正来确定对象的校正尺寸。 |
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