| 阴极发光测量装置和电子显微镜 |
| JP2007249887 2007-9-26 发明申请 |
| 2008-5-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一阴极发光测量装置能够实现高分辨率的与一电子显微术观察和高-分辨率观察的阴极发光，尽管的简单配置。溶液 : 该装置1用于测量通过照射电子射线产生的EB的阴极发光的CL到一个样品W包括一个电磁物镜透镜75，用于会聚所述电子射线EB到被照射到所述样品W和一个聚光反射镜部411用于冷凝从所述样品W的阴极发光产生的Cl，以其所述的电子射线照射EB，和被其特征在于，所述聚光反射镜部411上方的制备所述终端在所述样品W侧的所述的电磁物镜75以施加一从所述的电磁物镜75的杂散磁场以该样品W的版权 : (C)2008，inpit |
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