| 远紫外线光源装置和集电镜 |
| JP2006285104 2006-10-19 发明申请 |
| 2008-5-1 |
| 要解决的问题 : 以降低维护成本的一个LPP的集电镜型的EUV光源装置。溶液 : 该远紫外线光源装置产生远紫外激光束照射的光到一个目标物质以改变其以等离子体。所述集电极镜10用于收集所述远紫外线光与其反射表面，用于反射所述极端紫外线光分割成多个区域的具有一替换镜12包括一些区域的所述多个区域，和一集电极镜体11包括所述多个区域的所述的其它区域。所述替换镜12被可拆卸的，以所述集电极镜体11。版权 : (C)2008，inpit |
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