| 扫描电子显微镜和使用该扫描电子显微镜图案复合检验方法 |
| US11976968 2007-10-30 发明申请 |
| 2008-5-1 |
| 提供了一种能够单独进行临界尺寸测量和缺陷检查的扫描电子显微镜。 所述扫描电子显微镜具有 : 基准图像存储单元，用于存储转录基准图案的基准图像；被检查图像拾取单元，用于基于所述基准图像拾取转录与所述基准图案相匹配的图案的检查图案的被检查图像；临界尺寸测量单元，用于通过使用所述被检查图像测量所述检查图案的临界尺寸；以及缺陷检查单元，用于通过将所述基准图像与所述被检查图像进行比较来执行对所述检查图案内部或外部的缺陷的检查。 |
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