| 小型化的弹簧元件和用于其生产工序，杆探头，光栅的力显微镜为井为程序用于其企业 |
| DE102006004922 2006-2-1 发明授权 |
| 2008-4-30 |
| 一种小型化的弹簧元件是用于对被特别适合用于使用为一束探头或悬臂用于检测原子或分子的力，在特定的一种原子力显微镜中，和，以该端部，是打算以使它在一个特别可靠的方式可能的，以检测其偏转和与高分辨率。用于这种目的，所述弹簧元件包含一基本含体，其被形成从一个矩阵嵌入纳米颗粒。或缺陷。所述弹簧元件是使用所产生的局部沉积的原理与聚焦高能粒子或电磁波或通过pyrolytically诱导沉积。 |
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