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扫描探针显微镜

EP06076925 2006-10-23 发明申请

2008-4-30

本发明涉及一种扫描探针显微镜包括 : -一个试样夹持器夹持样品; 和-一个探头，用于扫描所述浮雕所述的上表面的所述样品，其探针是可移动在一垂直方向和两个正交水平方向，其中所述样品是倾斜的上表面相对于至少一个所述两个正交的水平方向。