产业专利数据
 
高带宽的原子力显微镜
 
JP2006277583  2006-10-11  发明申请
2008-4-24
 
  要解决的问题 : 以提供一个高带宽的原子力显微装置(afm)。溶液 : 一种表面形状的观察者(sto)其ID一种扰动观测器用于估算所述表面形状通过AFM测量是实现为一种开环，它是一个封闭环中的一个反馈回路独立的系统; 和由于该带的AFM将不影响该闭环系统的稳定性，AFM其被加宽更远的带比所述反馈控制系统中可以被提供。版权 : (C)2008，inpit
 
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