| 扫描电子显微镜，和失真校准扫描电子显微镜的图像 |
| JP2006274607 2006-10-6 发明申请 |
| 2008-4-24 |
| 要解决的问题 : 以解决一个问题，其中一种的误差是通过扫描尺寸管理中产生的失真一个电子束。溶液 : 本申请提供了一种方法和装置，用于获取一通过测量和扫描电子显微镜图像不失真校准扫描失真。一预定区域被从而通过电子束扫描以获取一个图像; 多个从所述图像的区域被选择; 各图案的间距被测量的; 和扫描失真是从所述测量结果计算，和校正。版权 : (C)2008，inpit |
微信公众号