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回音壁模式超声耦合扫描探针显微镜

US11809196 2007-5-30 发明申请

2008-4-24

扫描探针显微镜包括耦合到音叉或其它声学谐振器的探针尖端，以便当基于所施加的声学信号接触到试样表面时施加剪切力。第二超声换能器与试样和共振结构声学连通。基于共振结构中的回声通道模式超声波，可以使用二次换能器来检测探头尖端-试样位移，并且使用基于回声通道模式声波幅度的反馈控制来维持这种位移。