| 用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台 |
| CN202322160653.3 2023-8-11 实用新型 |
| 2023-12-29 |
| 本实用新型属于扫描电镜测试装置技术领域,特别涉及一种用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台,它解决了测试效率低,测试较多样品时成本较高的问题。本用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台,包括底座,所述的底座上方设有两个呈六面体形状的样品座,且两个样品座水平移动拼合后呈六棱柱状,在样品座与底座之间设有能够使两个样品座沿水平方向接近或远离的水平调位机构。实现了样品位多,测试效率高,且可对样品表面及截面进行固定观察的效果。 |