| 扫描探针显微镜，用于所述相同的探针，并检查方法。 |
| JP2006273163 2006-10-4 发明申请 |
| 2008-4-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够识别的每个反射的光从多个悬臂。溶液 : 所述扫描探针显微镜是提供与第第一光源15用于发射第一照射的光具有一第一波长; 第第二光源25用于发射第二具有一第二照射光波长从第一波长不同; 一第一用于扫描一个样品探针150a和反射第一反射的光照射光为第一; 一第二用于扫描一个样品探针250b和反射第二反射的光照射光为第二; 一第一用于接收第一反射的光接收元件16具有第一波长的光; 和一第二用于接收第二反射的光接收元件26具有第二波长的光。版权 : (C)2008，inpit |
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