| 用于控制方法中的探针扫描探针显微镜 |
| JP2006273929 2006-10-5 发明申请 |
| 2008-4-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于控制所述探针在一个扫描探针显微镜方法，其适当地控制所述绞合所述探针的情况，其是从一种反应引起的力，不均匀施加从所述的倾斜部分在所述样品的表面到所述探针的所述顶部端。溶液 : 所述的方法施加到所述扫描探针显微镜包括一个探头部分，具有面向所述探头20所述样品12; 一用于检测物理量检测部之间的所述样品和探针; 一个测量部分，用于测量所述样品表面的信息，基于该物理量，当所述探针扫描该样品的表面; 和一移动机构，其具有至少两个自由度。所述的方法使该探针移动方向中移动，其从所述推动方向是不同的，同时推动所述探针与所述样品的表面; 检测所述探针的这种运动期间产生的扭转操作; 和调整一个或两个所述探针在所述的移动方向的速度和所述力在该推动方向，基于所检测的值。版权 : (C)2008，inpit |
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