| 液体浸入式显微镜装置 |
| JP2006271085 2006-10-2 发明申请 |
| 2008-4-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一液的浸没式显微镜装置能够精确地设置的一工作距离的减少所述安装适配器的所述误差的效果，以一物镜透镜。溶液 : 所述的液体浸入式显微镜装置包括 : 所述的液体浸物镜系统; 和一个适配器25连接到所述尖端侧的所述物镜透镜。该适配器具有 : 一个扁平部分54围绕所述尖端之间的光学路径51所述物镜的透镜和一个衬底到被观察，以垂直于所述光学路径和最接近所述衬底; 和一个调整部62，它调整所述扁平部分和所述衬底之间的一个空的空间。版权 : (C)2008，inpit |
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