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使用扫描探针显微镜扫描样品的方法和装置

US11550296 2006-10-17 发明申请

2008-4-17

一种用扫描探针显微镜扫描样品的方法和装置，包括根据至少一个扫描参数扫描样品的表面以获得与表面相对应的数据，以及基本上自动识别表面中的转变。基于所识别的转变，重新扫描样本。优选地，用通过重新扫描转变获得的数据来修正所得数据。