| 扫描探针显微镜的探针控制方法 |
| US11867476 2007-10-4 发明申请 |
| 2008-4-17 |
| 该探针控制方法应用于扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有探针部分、检测部分、测量部分和移动机构，其中探针部分具有指向样品的探针，检测部分用于检测样品和探针之间的物理量，测量部分用于测量样品的表面以在用探针扫描样品表面时基于物理量获得表面信息，移动机构具有至少两个自由度。 探头控制方法具有以下步骤 : 在使探头与样品表面接触的同时沿不同于接触方向的扫描方向移动探头，在探头移动期间检测探头的扭转状态，以及基于通过检测步骤获得的检测值调节扫描方向上的速率和接触方向上的力中的一个或两个。 |
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