| 扫描电子显微镜，及其测量方法。 |
| JP2006260223 2006-9-26 发明申请 |
| 2008-4-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一个SEM及其测量方法能够定量地表示的一种样品的质量图像和提高测量精度。溶液 : 所述SEM1是具有一个图像输入部31输入一个样品图像4覆盖图案它周围区域和一个背景区域，一个处理部分35计算图像的质量评价值判断该样品图像4输入到所述图像输入部31，一种图像分析部37判断所述样品的质量图像4基于该图像评价值计算在所述处理部35，和一结果显示部分38所述的显示质量的判断结果样品图像4在所述的图像分析部37。版权 : (C)2008，inpit |
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