| 电子显微镜和固体观测方法。 |
| JP2006262009 2006-9-27 发明申请 |
| 2008-4-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一种固体观测方法和一种电子显微镜能够完全和准确的评估一种电子装置的结构或与一种三-维结构等。溶液 : 通过测量强度的电子束通过改变焦点的位置发送一个样品42所述电子束在该样品42的深度方向与所使用的所述的电子显微镜配备有一电子枪40产生电子束，一会聚透镜44会聚的电子束通过所述的电子枪40产生要入射为该样品42，一种图像形成透镜46控制所述电子束发射的所述样品散射角42，以及一个检测器20用于检测所述电子束发射所述样品42，该电子束由所述样品的吸收42和一个在深度方向的散射角度分布被测量。版权 : (C)2008，inpit |
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