| 扫描电子显微镜与CRT型电子光学 |
| WOUS06047227 2006-12-11 检索报告 |
| 2008-4-10 |
| 一个实施例涉及一种装置，包括一个CRT型电子枪(例如，102，或302，或510，或1002，或1113)以产生和扫描电子束和偏转器，其利用所述的电子束用于检查或测量一衬底。该装置可以包括一个便携式扫描电子显微镜。另一实施例涉及一检查一衬底的方法或测量所述衬底的一个方面，其中一个使用由金属形成的静电透镜的电子束被聚焦板(704)支持的和分离的熔融玻璃珠(706)或其它绝缘材料。另一实施例涉及一种方法获得一个电子束的一表面的图像的一体样品其中一个便携式SEM装置被移动到该块状样品。本发明还公开了其它实施例和特征。 |
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